防止晶圓氧化辦法 - 社會議題

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By Joseph
at 2007-02-06T00:00

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最近我父親開的晶圓測試廠,因環境影響,導致晶圓背面氧化、污染。
加上附近新光合纖廠會釋放二氧化硫,導致整個無塵室都會有味道而氧化。 
誰可以告訴我該怎處理??

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Ingrid avatar
By Ingrid
at 2007-02-08T17:05
傳統無塵室只是過濾 particle.
由於循環換氣, 無塵室空氣內的化學藥品濃度反而容易高於外界氣體. 近年來, 這些現象對於產品的影響隨著產品越來越先進而漸漸被突顯出來.
一般的解決方式是安裝化學濾網 (chemical filter).
安裝chemical filter 不論污染源來自於無塵室內或外界 皆可以改善無塵室的空氣品質
提供一篇工研院發表的文章以資參考
http://www.e-safety.com.tw/1_main/103_learning/103...
Susan avatar
By Susan
at 2007-02-08T04:34
1.無塵室也會受污染,這真是太誇張了.
2.建議使無塵室保持正壓 (即無塵室的內壓比外界大)
3.導入的空氣以鹼吸收水塔, 再經酸塔(可略), 再經加壓壓力(乾燥)
進入無塵室.

想賣TOYOTAaltis1.8~~~~

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By Lauren
at 2007-02-06T00:00
大概形容一下我想賣ㄉ車子1.是陽春車2.新車買60.9萬3.沒有天窗.駕駛有安全氣囊.有XX燈..忘記還有啥ㄌ4.~2004年ㄉ車5 ...

為什麼會下酸雨啊對人體有傷害嗎

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By Hedwig
at 2007-02-06T00:00
為什怎麼會下酸雨可以樣預防下酸雨酸雨對人體有什麼影響起快點回答好嗎拜託拜託

請問:這些的出處---是哪本書??

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By Hedy
at 2007-02-06T00:00
請問這是從哪本書來的請說明ㄧ下1.天下無場外舉子。」蓋未進場,如何言中;就如人事未盡,如何言得天命。世� ...

關於溫室效應的一些問題

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By Connor
at 2007-02-06T00:00
1.溫室效應是怎麼形成的??2.溫室效應會帶來什麼災害3.要如何解決溫室效應這個問題?4.什麼現象和溫室效應有� ...

想請問今年頗受爭議的學測社會科目有可能改答案或送分嗎?

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By Zenobia
at 2007-02-06T00:00
想請問今年頗受爭議的學測社會科目有可能改答案或送分嗎?
我發現大考中心的答案比報紙上補教給的答案多錯了4~5題左右= =
也就是那些爭議題如�� ...