防止晶圓氧化辦法 - 社會議題
By Joseph
at 2007-02-06T00:00
at 2007-02-06T00:00
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最近我父親開的晶圓測試廠,因環境影響,導致晶圓背面氧化、污染。
加上附近新光合纖廠會釋放二氧化硫,導致整個無塵室都會有味道而氧化。
誰可以告訴我該怎處理??
加上附近新光合纖廠會釋放二氧化硫,導致整個無塵室都會有味道而氧化。
誰可以告訴我該怎處理??
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社會議題
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By Ingrid
at 2007-02-08T17:05
at 2007-02-08T17:05
由於循環換氣, 無塵室空氣內的化學藥品濃度反而容易高於外界氣體. 近年來, 這些現象對於產品的影響隨著產品越來越先進而漸漸被突顯出來.
一般的解決方式是安裝化學濾網 (chemical filter).
安裝chemical filter 不論污染源來自於無塵室內或外界 皆可以改善無塵室的空氣品質
提供一篇工研院發表的文章以資參考
http://www.e-safety.com.tw/1_main/103_learning/103...
By Susan
at 2007-02-08T04:34
at 2007-02-08T04:34
2.建議使無塵室保持正壓 (即無塵室的內壓比外界大)
3.導入的空氣以鹼吸收水塔, 再經酸塔(可略), 再經加壓壓力(乾燥)
進入無塵室.
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